Awọn ohun elo kan pato ti Awọn olutọpa pilasima

Awọn ẹrọ mimu pilasima / etching ṣe ina pilasima nipasẹ gbigbe awọn amọna meji sinu apo edidi lati ṣẹda aaye ina. A lo fifa igbale lati ṣetọju ipele igbale kan. Bi gaasi naa ti n pọ si i, aaye laarin awọn moleku ati gbigbe ọfẹ ti awọn ohun elo tabi awọn ions tun pọ si. Labẹ ipa ti aaye ina, awọn ions wọnyi kọlu ati dagba pilasima. Awọn ions wọnyi jẹ ifaseyin gaan, pẹlu agbara ti o to lati fọ fere gbogbo awọn ifunmọ kemikali, nfa awọn aati kẹmika lori eyikeyi oju ti o han. Awọn pilasima gaasi oriṣiriṣi ni awọn ohun-ini kemikali oriṣiriṣi. Fun apẹẹrẹ, pilasima atẹgun jẹ oxidizing pupọ, ti o lagbara ti oxidizing photoresist lati ṣe gaasi, nitorinaa iyọrisi ipa mimọ. Pilasima gaasi ibajẹ ni anisotropy ti o dara julọ, eyiti o pade awọn ibeere ti etching. Itọju pilasima ṣe agbejade didan, nitorinaa orukọ itusilẹ didan.
Ilana ti mimọ pilasima da lori akọkọ “iṣiṣẹ” ti awọn patikulu ti nṣiṣe lọwọ ninu pilasima lati yọ awọn abawọn dada kuro. Ni awọn ofin ti ẹrọ ifaseyin, mimọ pilasima ni gbogbogbo jẹ ilana atẹle: awọn gaasi aibikita ni itara sinu ipo pilasima; gaseous oludoti ti wa ni adsorbed lori ri to dada; awọn ẹgbẹ adsorbed fesi pẹlu awọn ohun elo lori dada ti o lagbara lati ṣe awọn ohun elo ọja; awọn ohun elo ọja decompose sinu ipele gaasi; ati awọn iṣẹku lenu ti wa ni kuro lati awọn dada.

Ẹya pataki julọ ti imọ-ẹrọ mimọ pilasima ni pe o le ṣe itọju eyikeyi iru sobusitireti, pẹlu awọn irin, semikondokito, oxides, ati ọpọlọpọ awọn ohun elo polima gẹgẹbi polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl kiloraidi, iposii, ati paapaa polytetrafluoroethylene. O le nu mejeeji gbogbo dada ati awọn agbegbe kan pato, ati awọn ẹya idiju.