(1) Iyẹwu iṣaaju{1}
Iṣe ti iyẹwu iyẹfun iṣaaju{{0} ni lati rii daju pe iyẹwu etching ti wa ni itọju ni ipele igbale ti a ṣeto, ko ni fowo nipasẹ agbegbe ita (gẹgẹbi eruku, oru omi), ati ya awọn gaasi oloro kuro ninu yara mimọ. O ni ideri, olufọwọyi, ẹrọ gbigbe, ilẹkun ipinya, ati bẹbẹ lọ.
(2) Iyẹwu Etching
Iyẹwu etching jẹ eto ipilẹ ti ohun elo etching ICP. O ni ipa taara lori oṣuwọn etching, inaro ti etching, ati roughness. Awọn paati akọkọ ti iyẹwu etching jẹ: elekiturodu oke, ẹyọ igbohunsafẹfẹ redio ICP, ẹyọ igbohunsafẹfẹ redio RF, eto elekiturodu kekere, eto iṣakoso iwọn otutu, ati bẹbẹ lọ.
(3) Gaasi ipese eto
Eto ipese gaasi ni lati fi ọpọlọpọ awọn gaasi etching ranṣẹ si iyẹwu etching, ati ni deede ṣakoso iwọn sisan gaasi ati ṣiṣan nipasẹ oluṣakoso titẹ (PC) ati oludari ṣiṣan pupọ (MFC). Eto ipese gaasi ni igo orisun gaasi, opo gigun ti ifijiṣẹ gaasi, eto iṣakoso, ẹyọ idapọmọra, ati bẹbẹ lọ.
(4) Igbale System
Awọn ọna ṣiṣe igbale meji wa, ọkan fun iyẹwu iṣaaju{{0} ati ekeji fun iyẹwu etching. Iyẹwu iṣaaju - ti yọ kuro nipasẹ fifa ẹrọ. Nikan nigbati ipele igbale ninu iyẹwu iṣaaju-iyẹwu ti de iye ti a ṣeto ni a le ṣii ilẹkun ipinya lati gbe wafer naa lọ.
