Vacuum Inline RF Plasma Equipma

Awọn ohun elo pilasima Inline RF igbale jẹ ohun elo amọja ti a ṣe idagbasoke fun mimọ ati imuṣiṣẹ ti awọn oju iboju ti a tẹjade, ni pataki fun awọn ohun elo sobusitireti IC. O jẹ lilo ni pataki lẹhin ipele aworan fiimu ti o gbẹ ati ifiweranṣẹ- ibora iboju solder, nibiti igbaradi oju ilẹ ti o yẹ ṣe pataki fun imudarasi agbara ifaramọ ati aridaju igbẹkẹle giga lakoko awọn ilana atẹle. Nipa lilo itọju pilasima inu iyẹwu igbale ti iṣakoso, eto naa yọkuro awọn iṣẹku Organic ni imunadoko ati awọn idoti dada, imudara iṣẹ isọdọkan gbogbogbo ati didara ọja.

Ẹya ọtọtọ ti ohun elo yii jẹ meji-meji rẹ{{0} faaji iyẹwu. Iyẹwu kọọkan ti ni ipese ni ominira pẹlu fifa igbale ati olupilẹṣẹ pilasima RF kan, ti n muu ṣiṣẹ boya iṣiṣẹ ti o jọra tabi lilo omiiran. Eyi kii ṣe agbejade iṣelọpọ nikan ṣugbọn tun pese irọrun iṣẹ ṣiṣe. Lati ṣetọju iduroṣinṣin igba pipẹ -, eto naa ṣepọ mọdulu itutu agbaiye -pipade ti o ṣe idaniloju awọn iwọn otutu ti n ṣiṣẹ deede fun awọn fifa ati awọn orisun pilasima. Fun awọn laini iṣelọpọ ti o nilo adaṣe, ikojọpọ iyan ati awọn ọna gbigbe ni a le ṣafikun lati dinku mimu afọwọṣe ati dẹrọ asopọ ailopin pẹlu ohun elo oke ati isalẹ.

Awọn ohun elo ti nṣàn laarin awọn eto ti wa ni fara apẹrẹ. Wọ́n fi àwọn pátákó lọ sí ibi tí wọ́n ń gbé ọ̀rọ̀ wọlé tí wọ́n á sì fi àwọn amúnirọ́bọ́ìkì mú, tí wọ́n á wá gbé àwọn pátákó náà síbi kan - férémù kan. Ti o ṣe atilẹyin nipasẹ pẹpẹ elevator ati awọn rollers ti a mu, awọn igbimọ naa ni a gbe lọ si iyẹwu igbale fun itọju pilasima. Ni kete ti ilana ba ti pari, awọn rollers kanna gbe awọn lọọgan jade kuro ninu iyẹwu naa, nibiti awọn grippers tun gbe wọn soke lẹẹkansi ati fi wọn lọ si ipele ti atẹle. Ihalẹ - fireemu maa n yipo laafọwọyi laarin awọn ibudo, aridaju iṣẹ ṣiṣe ti o dara ati ti o munadoko laisi akoko idinku ti ko wulo.